苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司

氮气管道-氮气管道设计-苏州珂锐弘扬流体(多图)

实验室气体的危险性：

1、有部分气体具有易i燃、易i爆、有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；

2、多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆i炸等强烈化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；

4、多数气瓶出口压力可达15MPa，即150公斤/cm2，如果发生气瓶口减压装置失灵，就有可能将一些部件激i射出去，其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些？

1、用固体CaCl2除水，水份可降低至0.1%（体积）以下；

2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份，为了除去高纯气体中的杂质水，资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下，水份可降至0.01%（体积）以下；

3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水，可降到600～1000ppm，夏季水份还要更多些；

4、JMT型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛，具有良好的热稳定性，除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外，在900℃前无明显的分解峰，说明其晶格具有优良的稳定性。