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实验室气体管道安装-苏州珂锐弘扬流体控制

气体管道安装

实验室供气系统作为一种气体补给方式，现已经被人们越来越广泛的使用。它是一种包括了气源、切换装置、压力调节设备、终端、报警设备。气路系统通常采用不锈钢管道。

实验室供气系统主要包括中央集中供气系统和气瓶分散供气系统两种模式。实验室集中供气系统已成为实验室的主流，其优势主要体现在集中供气更安全、更经济、纯度更高，工作流程更优化。实验室是一个特殊的工作区域，从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑，形成系统的供气迫在眉睫，实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现，气瓶供气已逐步淘汰。

气体管道安装流程

　　1、施工前准备：真空管道安装前做好施工材料的清点领用准备。

　　2、材料防腐：防腐施工是真空管道安装项目的重要环节。在安装工程中常用的的防腐材料主要有各种有机和无机涂料、玻璃钢、橡胶制品、无机板材等。

　　3、管道配管：冷热管尽量分开布置，分不开时，热管在上，冷管在下；真空管线应尽量短，减小阻力，达到更大真空度。

　　4、支架第i一阶段安装

　　5、管道安装及支吊架第二阶段安装

　　6、管道对口、焊接：对口的关键是破口要合适。焊接时，要注意选择与管道材质相匹配的焊条，用评定好的焊接工艺进行焊接。

　　7、阀门及特殊部件的安装

　　8、支架和管道安装符合性检查

　　9、严密性试验及水压

　　10、系统的冲洗和吹扫

　　11、支吊架调整

　　12、安装结束及记录文件整理

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。