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气体管道-气体管道材质-苏州珂锐弘扬流体

气体管道设计规范

（1）氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1~3次/h的通风措施。

（2）按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。

（3）穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间采用非燃烧材料严密封堵。

（4）氢气、氧气管道的末端和顶端宜设置放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样点和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

（5）氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。

（6）管道敷设要求

① 输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。

② 氧气管道与其他气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氧气管道外的其它气体管道之上。

③ 氢气管道与其可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地。不得穿过不适用氢气的房间。

④ 气体管道不得和电缆、到店线路同架敷设。

⑤ 气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。

⑥ 管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳胶管。

⑦ 阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

减压器的使用要点

(1) 使用前应确认减压器是完好的,并检查有无油脂污染,特别是进口处的污物及灰尘等应及时清除。

(2) 检查气瓶是否有油脂污染,螺纹是否损坏,如发现有油脂或螺纹损坏,就不再使用该气瓶,并将这些情况通知供气单位,清除气瓶阀(特别是阀口处)的油脂污染,修复螺纹。

(3) 把减压器装到气瓶阀上,将输入输出接头拧紧。

(4) 打开气瓶阀前,先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。

(5) 打开气瓶阀前,先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启至高压表指示出气瓶内压力。

(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆,放出一部分气后重新调节。

(7) 当工作结束后,先关闭气瓶阀,然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好,逆时针方向旋转调节螺杆,一直到调节弹簧不受压为止。

(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动,不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。

(9) 减压器只能使用规定的气体。